***、使用前準(zhǔn)備

　　1. 設(shè)備檢查

　　- 確認(rèn)電源連接正常，接地良好，避免觸電風(fēng)險(xiǎn)。

　　- 檢查清洗室密封性，確保無漏氣現(xiàn)象；清理內(nèi)部殘留雜物，保持潔凈。

　　- 檢查工作氣體(如氬氣、氧氣)供氣系統(tǒng)，確保氣壓充足、管路暢通。

　　2. 工件處理

　　- 待清洗工件需固定穩(wěn)妥，避免相互碰撞或接觸電極。

　　- 根據(jù)污染物類型選擇適配氣體(如氬氣用于表面活化，氧氣用于有機(jī)污染物去除)。

　　3. 參數(shù)預(yù)設(shè)

　　- 參考設(shè)備默認(rèn)參數(shù)(如功率50W-150W，氣體流量20sccm，清洗時(shí)間200s)。

　　- 初次使用或特殊材料需進(jìn)行小范圍測(cè)試，避免過度清洗導(dǎo)致材料損傷。

　　二、操作步驟

　　1. 開機(jī)與啟動(dòng)

　　- 依次打開設(shè)備后部總電源、面板藍(lán)色電源鍵。

　　- 啟動(dòng)真空泵，手動(dòng)按壓腔門確保密封，觀察腔內(nèi)氣壓是否達(dá)50-100Pa正常范圍。

　　- 調(diào)節(jié)氣體流量旋鈕(A通道)至20sccm，保持穩(wěn)定進(jìn)氣。

　　2. 參數(shù)調(diào)整

　　- 匹配調(diào)諧：先調(diào)節(jié)TUNE旋鈕使左屏顯示設(shè)定功率，再調(diào)LOAD旋鈕使右屏示數(shù)至15Wr，***終微調(diào)TUNE使反射功率(右上角)接近0%。

　　- 功率與時(shí)間：按需求設(shè)定清洗功率(建議≤150W)和時(shí)間(常規(guī)200s，特殊材料可延長(zhǎng)至10分鐘)。

　　3. 清洗過程監(jiān)控

　　- 實(shí)時(shí)觀察功率、氣壓、氣體流量等參數(shù)，確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。

　　- 避免頻繁開閉腔門，防止氣壓波動(dòng)影響等離子體穩(wěn)定性。

　　4. 結(jié)束操作

　　- 清洗完成后，先關(guān)閉面板藍(lán)色電源鍵，再切斷總電源。

　　- 關(guān)閉氣源，打開排氣閥排出殘留氣體，避免氣體積聚。

　　- 待腔內(nèi)冷卻后取出工件，避免高溫燙傷。

　　三、關(guān)鍵參數(shù)設(shè)置規(guī)范

　　1. 功率控制

　　- 常規(guī)清洗：50W-150W(如100W為常用值)。

　　- 敏感材料(如塑料、有機(jī)膜)：建議≤90W，時(shí)間控制在5分鐘內(nèi)。

　　- 禁止超限：***大功率勿超150W，金屬刻蝕需謹(jǐn)慎(可能超出設(shè)備承受范圍)。

　　2. 氣體流量

　　- 默認(rèn)流量20sccm，需匹配真空泵抽速以維持50-100Pa氣壓。

　　- 不同氣體切換時(shí)需排空管路殘留氣體。

　　3. 清洗時(shí)間

　　- 常規(guī)污染物：200s；頑固污漬可分多次短時(shí)清洗(如每次3min)。

　　- 膠類或有機(jī)涂層：可延長(zhǎng)至10分鐘，但需監(jiān)測(cè)材料表面狀態(tài)。

　　四、安全操作規(guī)范

　　1. 個(gè)人防護(hù)

　　- 必須佩戴防護(hù)眼鏡、手套及防護(hù)服，避免等離子體直接接觸皮膚或眼睛。

　　- 操作時(shí)站立側(cè)位，防止腔門意外開啟造成傷害。

　　2. 設(shè)備操作禁忌

　　- 嚴(yán)禁運(yùn)行時(shí)觸碰電極或內(nèi)部元件(高溫高風(fēng)險(xiǎn))。

　　- 禁止隨意拆卸設(shè)備，維修需由專業(yè)人員進(jìn)行。

　　- 緊急情況立即按下紅色急停按鈕。

　　3. 環(huán)境安全

　　- 工作區(qū)域遠(yuǎn)離易燃物，設(shè)備需良好接地。

　　- 廢氣需通過通風(fēng)系統(tǒng)排出，避免局部氣體濃度過高。

　　五、維護(hù)與保養(yǎng)

　　1. 日常維護(hù)

　　- 清洗后用無塵布擦拭腔體內(nèi)壁，定期檢查電極損耗情況。

　　- 氣體管路每月檢查***次，防止堵塞或泄漏。

　　2. 周期性保養(yǎng)

　　- 每季度校準(zhǔn)真空泵油位，更換老化密封件。

　　- 每年進(jìn)行***次全面檢修，重點(diǎn)檢查電氣系統(tǒng)和真空度穩(wěn)定性。

　　六、常見異常處理

　　1. 氣壓異常：檢查真空泵、管路是否漏氣，或重新調(diào)節(jié)目流量。

　　2. 功率波動(dòng)：需重新調(diào)節(jié)TUNE/LOAD旋鈕至匹配狀態(tài)。

　　3. 清洗效果不佳：可能因功率過低、時(shí)間不足或氣體不匹配，需優(yōu)化參數(shù)。

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