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FMA-2623A-I_FMA-2623A-I2_FMA-2623A-V2_FMA-2623A-VOL質量流量控制器OMEGA

20多種氣體校準，包括氦氣、氧氣、氖氣、***氧化二氮、氮氣、大氣、氬氣、***氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氫氣、丙烷、丁烷、異丁烷、乙烯、乙炔、氪氣、氙氣、六氟化硫

同時顯示壓力、溫度、體積以及質量流量

簡單易用的按鈕界面

NIST 可溯源性標準

滿量程范圍：0.5 SCCM ~ 3000 LPM

常規響應時間：50 ~ 100 毫秒

常規量程比：100:1

位置不敏感

±0.8%讀數精度

標配RS232

FMA-2623A-I_FMA-2623A-I2_FMA-2623A-V2_FMA-2623A-VOL質量流量控制器OMEGA

精度:±（讀數的0.8% + 滿量程的0.2%）

重復性:滿量程的±0.2%

量程比：100:1

控制響應時間:100 ms

輸入控制信號:0 ~ 5 Vdc, RS232

輸出信號:0 ~ 5 Vdc, RS232

可選輸入/輸出:4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc

工作溫度:10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)

零點偏移:滿量程的0.02%/°C

量程偏移:滿量程的0.02%/°C

濕度量程:0 ~ 100% RH，無冷凝

附加流速:滿量程的2.4%

接液材質：303和302不銹鋼、氟橡膠、硅酮RTV（橡膠）、玻璃強化型尼龍、鋁、銅、410不銹鋼、硅酮、玻璃；>250 SLM：416不銹鋼和鎳替換銅

最大壓力 質量流量控制器:145 psig

使用體積模式:使用體積模式：近大氣，建議最大15 psig。

體積流量計和控制器不保證超出流量計額定流量范圍的質量流速的準確性。這些值僅適用于近大氣壓力條件。建議最大工作壓力為15 psig

額定最小壓差:5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid

電源電流:20 SLM及以下0.250 A；50 SLM及以上0.75 A（常規）

電源電壓:20 SLM及更小的設備12 ~ 30 Vdc；50 SLM及更大的設備24 ~ 30 Vdc

電氣連接:8針圓形迷你DIN

FMA-2623A-I_FMA-2623A-I2_FMA-2623A-V2_FMA-2623A-VOL質量流量控制器OMEGA

FMA-2600A系列質量與體積流量控制器在層流場中使用差壓原則來確定和控制質量流速。流量計中的層流元件(LFE)迫使氣體進入層流。泊肅葉方程規定， 在這***區域體積流速與壓力下降呈線性關系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。同時結合氣體的粘度準確判定體積流速。引入單獨的絕對溫度和壓力傳感器，并根據***系列標準條件糾正氣體流速。這種標準流速俗稱質量流速，并使用每分鐘標準立方英尺(SCFM)或每分鐘標準升(SLM)等單位表示。

該控制器采用連接到流體的真正比例閥，通過***體化PID回路控制器控制流體。標準設備包括0 ~ 5 V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通訊。可通過前面板鍵盤或RS232通訊調整氣體選擇功能和設定值。體積 流量、質量流量、絕對壓力以及溫度均可以通過RS232連接查看或記錄。同時，在距離為46 m (150')的同***串口連接上，***多可與26臺設備進行多點通訊