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技術參數(shù) 1.光譜范圍230nm~850nm
2.手動改變?nèi)肷浣嵌?
3.實時測量
4.快速數(shù)據(jù)獲取
主要特點 1.測量快速、簡便
2.先進的探測系統(tǒng)極大提高信噪比
3.分別測量1000個以上光譜點
4.光學器件集成度高
儀器介紹 韓***NanoView公司在橢偏儀領域不斷創(chuàng)新，擁有多項專利技術。多年來***直致力于高性能橢偏儀的研制與生產(chǎn)，其產(chǎn)品主要用于半導體、導體、介質(zhì)和液體薄膜的厚度、光學特性、成分比例和表面粗糙度等測量和分析，也可用于半導體器件和FPD顯示等領域。目前主要產(chǎn)品分光橢偏儀，以獨特的設計和無需校準等多項先進專利技術，使得測試時間大大減少的同時極大地增加了測量精度。
***新開發(fā)的多傳感頭的分光橢偏儀，用于半導體和顯示器生產(chǎn)線的在線Mapping分析。

SE－MG 1000型變角光譜橢偏儀：
光譜范圍 340－850nm，紫外可選（230－850nm），變角測角儀，可精密測量薄膜厚度、折射指數(shù)及其他性質(zhì) ，可進行多層膜模擬分析 ，數(shù)據(jù)分析：Del,Psi,n,k,d ，測量精度 1 ?

SE－MF 1000型固定入射角光譜橢偏儀：
采用專利的無需校準、無需標定技術和獨特的無臂結(jié)構，USB接口和計算機連接，配合強大的控制分析軟件和多通道檢測器，測試速度快，10ms檢測全光譜，是您實驗室分析薄膜的極佳工具。可廣泛應用于：測量薄膜/多層膜的厚度、表面粘污， 表面與界面粗糙度、反射率， 組成與空隙率、合金比例等。

Rubbins-1000型Mapping光譜橢偏儀：
新開發(fā)的世界第***臺LCD rubbing檢測系統(tǒng)，同時也是世界上第***套能檢測rubbing膜和聚酰亞氨膜的設備，也可用于LCD面板和正在發(fā)展中的半透明膜和CD 測試。
主要特點：適用于厚膜和薄膜測試
測試精度高
響應速度快
測量時間短
旋轉(zhuǎn)補償技術
無需旋轉(zhuǎn)樣品或測量頭
不但可用于研發(fā)還可用于生產(chǎn)線檢測
大吞吐量樣品
Rubbins不用旋轉(zhuǎn)樣品就可以測量任何代包括第7代和第8代的整個薄膜面板