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INFICON XTC/3 石英晶體膜厚控制儀

價  格:詢價

產  地:美國更新時間:2020-10-29 13:55

品  牌:Inficon型  號:XTC/3

狀  態:正常點擊量:2535

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

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電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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INFICON, 薄膜鍍層控制技術的全球***者,現在為您提供高生產價值和低擁有成本的先進儀器。
無論您需要控制產品的合格性,或是用于科研項目。INFICON XTC/3能完全適應您的要求。

產品詳細介紹:

XTC/3石英晶控儀先進,實用的單層和多層鍍膜速率控制,無論您需要控制產品的合格性,或是用于科研項目。INFICON XTC/3能完全適應您的要求。

用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3裝備有ModelLock1專利技術,提供可靠的模式跳躍防止功能,可達到始終如***的鍍膜質量。使用XTC/3 薄膜鍍層控制儀,可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度,具有能控制幾乎任何膜層數量的能力。容易安裝和極高的可靠性,可確保高的生產率。

有單膜層和多膜層型號:

1.ModelLock專利技術防止由于模式跳躍導致的膜厚誤差

2.支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix?和雙探頭自動晶體切換,用于***高生產率

3.XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程,999個膜層,32個鍍層,2個

傳感器和兩個源

4.XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層,2個傳感器和兩個源

5.易閱讀的TFT LCD圖形顯示器

6.為便于檢索,可指定獨特的和描述性的薄膜與過程名稱

7.有以太網連接軟件

8.單獨運行(無需計算機)或用PC運行的Windows?軟件選件

9.INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換見(限于XTC/2功能和指令組)


產品參數

功能,參數,或技術規范

XTC/3S單層膜

XTC/3M多層膜

測量分辨的頻率變化

+0.05Hz

+0.05Hz

測量區間

0.25秒

0.25秒

厚度和速率分辨/測量

0.06A,在工具/密度=100

0.06A,在工具/密度=100

 

基頻=6MHz

基頻=6MHz

支持XTAL2轉換

計算機通訊

RS232標準,以太網TCP/IP選件

RS232標準,以太網TCP/IP選件

最大RS232波特率

115.2千波特

115.2千波特

繼電器數

12標準, 無事例可指定

12標準, 事例可指定

可編程繼電器功能數

1

1

每個繼電器功能

1

1

繼電器電壓額定值

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

 

42V峰,在2.5安

42V峰,在2.5安

輸入數

8TTL, 24伏直流最大

8TTL, 24伏直流最大

可編程輸入功能數

1, 無事例可指定

1, 事例指定

記入儀輸入數

1

1

手動電源/手持控制器

排風扇

測試模式

擋光器延遲

次級工具

最大允許相移頻率

1.0 MHz

1.0 MHz

機箱尺寸

1/2機架,2U高度

1/2機架,2U高度

速率和膜厚顯示分辨

0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從

100至999A/秒

0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從

100至999A/秒

 

顯示膜厚分辨=1A

顯示膜厚分辨=1A

通過輸入選擇鍍層

用戶指導語言

英文,中文

英文,中文

控制環

       PID

PID

數據登錄

質量和穩定性功能

樣品和保持

坩堝選擇

坩堝反饋輸入

選擇控制電壓極性

是,+/-2.5,5,10伏

是,+/-2.5,5,10伏

 

15-位分辨率

15-位分辨率

程序鎖定碼

        是

        是

用戶標簽過程/鍍層

        否

        是

XTC/2 RS232通訊兼容性

是(有限的)

是(有限的)


產品介紹



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