INFICON SQM160 石英晶體膜厚監測儀
價 格:詢價
產 地:美國更新時間:2020-10-29 13:55
品 牌:Inficon型 號:SQM160
狀 態:正常點擊量:2695
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SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器,標準型有兩路傳感器輸入,同時,4路傳感器輸入可選,具體視用戶實際應用而定;雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。
在大型系統中,傳感器輸入可以分配給不同材料,采集的數據通過平均值,以達到更精確的沉積控制;也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中,為了延長傳感器的使用壽命,速率采集模式允許探頭帶***個檔板。用戶可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外,還可以選擇頻率或質量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。
數字輸入可以通過外部信號來對讀數進行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監測儀采用了RS-232接口和Windows?窗口軟件,可以通過電腦上進行調試安裝。軟件可以用來設置和存儲所有參數,包括儀器操作和保留程序數據到特定的Excel?文檔。同時,USB或以太網選項也添加通信協議中,以***大程度方便不同用戶。
產品參數
產品規格:
QCM傳感器輸入 標準型: 2路 可選4路
頻率范圍:1-10 MHz
標準型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
頻率穩定性:在 0o to 50oC,總計± 2 ppm
可選擇的測量周期:0.10 to 2 sec (每級增量0.05 sec)
測量選擇:1 to 20 readings
存儲膜系:99
模擬輸出:2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚
數字輸入/輸出:2 路數字輸入, 4路繼電輸出
標準型: RS-232
可選: USB or 以太網
電源: 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 標識:Class 1 equipment
73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安裝支架:1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,
89 x 213 x
重量:
Windows軟件(included):提供遠程安裝和操作指導,數據錄入功能
產品介紹
SQM160產品詳細介紹
便于使用
開啟速率和膜厚測量,只需先按住Zero鍵以清除上次讀數,然后關閉,打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率,即使操作人員離監測儀***定距離也仍然清晰可見。當達到預設膜厚或者鍍膜時間到了,檔板就會自動關閉,同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中,操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監測儀的99個存儲膜系進行設置。***先,選“program”鍵,進入菜單,然后,旋轉撥針鈕,這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示菜單提示,而設定的數據可以在輔助界面中找到。
高精度,低成本,標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數/秒,如果用戶有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數/秒的高精型。SQM160另***大優點是在整個工作范圍內,溫度穩定性可以達到2ppm。高精度和高穩定性的聯袂使得該款儀器具備了卓越的性價比。
產品特點:
1.雙通道(標準型),四通道可選
2.沉積速率/膜層厚度模擬輸出
3.高精度: 0.03Hz at 10個讀數/s
4.RS-232 接口, USB 或以太網可選