高速壓電快速傾斜鏡

所屬類別： ? 精密定位系統(tǒng)/平移臺/掃描系統(tǒng) ? 快速傾斜鏡/轉(zhuǎn)鏡/旋轉(zhuǎn)平移臺

產(chǎn)品簡介

高速壓電快速傾斜鏡-高精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡

高分辨率的高速精密壓電快反鏡（快速反射鏡）！

上海昊量光電推出的高速精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，零摩擦的柔性鉸鏈為導(dǎo)向系統(tǒng)使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點。鏡子只需要簡單的固定到偏轉(zhuǎn)臺上，可提供2毫弧度的偏轉(zhuǎn)行程。在整個偏轉(zhuǎn)行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動質(zhì)量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供極佳的響應(yīng)時間和和速度。

快速偏轉(zhuǎn)鏡、偏轉(zhuǎn)鏡、壓電偏轉(zhuǎn)鏡、快速傾斜鏡、Piezo Tip/Tilt Mirror 快速Tip/Tilt偏轉(zhuǎn)鏡

高速精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡是為了滿足在光學成像和檢測系統(tǒng)中鏡子超快超精密定位的需求設(shè)計的。高速精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用壓電陶瓷為驅(qū)動，利用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，使偏轉(zhuǎn)鏡擁有體積小、無摩擦，定位精度高等優(yōu)點。

該偏轉(zhuǎn)鏡子只需要簡單的固定到偏轉(zhuǎn)臺上，可提供2毫弧度的偏轉(zhuǎn)行程。在整個偏轉(zhuǎn)行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動質(zhì)量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供極佳的響應(yīng)時間和和速度。

上海昊量光電設(shè)備有限公司的高速精密壓電偏轉(zhuǎn)鏡有以下幾款產(chǎn)品：

AU-NPS-q-2A為qx偏轉(zhuǎn)鏡，該偏轉(zhuǎn)鏡的偏轉(zhuǎn)行程為2毫弧度，分辨率可達到亞微弧度。封閉的封裝可以提供更高的穩(wěn)定性和可靠性。采用不銹鋼材質(zhì)，以及柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)和優(yōu)異的閉環(huán)控制系統(tǒng)使其擁有極快的響應(yīng)速度和時間，響應(yīng)時間小于1毫秒。自振頻率在空載下可達到5000Hz。

AU-NPS-qg-2B為快速Tip/Tilt偏轉(zhuǎn)鏡，該偏轉(zhuǎn)鏡的閉環(huán)擺角可達±1微弧度。在整個擺角行程中分辨率可達到亞微弧度量***。采用鋁合金材質(zhì)，低的移動質(zhì)量以及優(yōu)異的閉環(huán)控制系統(tǒng)可以提供極佳的響應(yīng)時間和速度。

AU-XPS-qg-2A為開環(huán)快速Tip/Tilt偏轉(zhuǎn)鏡，該偏轉(zhuǎn)鏡的開環(huán)擺角可達±1微弧度。在整個擺角行程中分辨率可達到亞微弧度量***。該產(chǎn)品的帶寬可達到2kHz，低的移動質(zhì)量以及優(yōu)異的開環(huán)控制系統(tǒng)可以提供極佳的響應(yīng)時間和速度，信號響應(yīng)時間可達到5ms。

u 產(chǎn)品主要特點

l 亞微弧度的分辨率

l 超快響應(yīng)時間

l 柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

l 高的可靠性

l 高的帶寬

u 主要應(yīng)用

精確光束控制、圖像抖動校正等。

u 主要參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)		AU-NPS-q-2A	AU-NPS-qg-2B	AU-XPS-qg-2A
Material		Stainless steel	Aluminium (Electroless nickel plated)	Aluminium (Electroless nickel plated)
Size (mm)		35 (high) by 30 (diameter)	56 high x 60 diameter	35 high x 30 diameter
Range (mrad)	Minimum		±1	±1.25
	Typical	± 1	±1.05	±1.4
	Maximum
Resonant frequency: 0g load (Hz) /Typical		5000	1000	2000
Position noise	Fast	0.05μrad	15 nrad
	Medium		6 nrad
	Slow		2 nrad
Linearity error (peak)	Minimum	0.2%
	Typical		0.03%
	Maximum		0.05%

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