ASI公司小型電動載物臺MS-2000 XYZ 電動載物臺
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主要特點： 1、閉環DC伺服電動機 XYZ載物臺保證***定位和高的聚焦重復性 2、XY操縱桿廣泛的動態速度范圍 3、利用ASI's Z-軸驅動 4、Z-軸離合器方便轉換手動電動聚焦控制 5、LCD顯示XYZ的配合 6、"Zero" 和 "Home" 按鈕方便獨立操作 7、控制范圍
技術指標：
XY移動范圍
Upright: 100 mm x 100 mm
Inverted: 114 mm x 90 mm
XY 軸分辨率
0.088 μm
XY 軸RMS可重復性
< 0.8 μm (typical)
XY 軸***大速率
7 mm/sec
Z 軸分辨率
0.05 μm
Z 軸可重復性
± 0.1 μm (typical)
Z 軸***大速率
0.6 mm/sec
MS-2000 Options
為高精度定位和聚焦控制配備的X, Y, & Z 軸線性編碼器
大的載物臺頂板，方便顯微操作
載物臺附加側板，增大空間
CRIFF 持續反饋聚焦系統，專為長時間聚焦
其他可選螺桿
可選螺桿
Lead Screw Pitch Options
Rotary Encoder Resolution
Maximum Speed
12.70 mm (Super-coarse)
176 nm
14 mm/sec
6.35 mm (Standard)
88 nm
7 mm/sec
1.57 mm (Fine)
22 nm
1.75 mm/sec
0.318 mm (Ultra-fine)
4.4 nm
0.35 mm/sec
Standard Lead Screw Accuracy is 0.25 μm per mm.
可選的線性編碼器
Axis
Scale Resolution
Scale Accuracy
XY
20 nm
0.5 μm per 10 mm
1.5 μm per 100 mm
Z (12 mm and 25 mm stroke)
50 nm
0.03 μm per mm
滬公網安備31011502016460號
