分辨率（Resolution） | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) |
放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
加速電壓（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5 step) |
圖像檢測 （Signal Detection）` | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像(BSEI)-Backscattered Electron Image |
* Multi Detector (SEI+BSEI) |
觀察模式 Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode |
電子槍系統（Electron Gun） |
燈絲類型（Filament type） | 預對中鎢燈絲（Pre Centered tungsten filament Cartridge） |
偏壓系統（Bias voltage system） | 自動偏壓方式（Automatic mode） |
電子槍校正 （Electron gun alignment） | 手動方式（Manual mode） |
透鏡構成（Lens system） |
聚光鏡（Focus Lens） | 2段式磁線圈透鏡 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
物鏡（Objective Lens） | 1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
探測器類型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
載物臺系統( Stage System) | 自動或者手動（Auto or Manual） |
載物臺移動（Stage Traverse） | 3軸操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
圖像偏移（Image shift） | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
樣品MAX尺寸 （Max Sample size） | 高度30mm時MAX直徑70mm 70mm in diameter, 30mm in height |
圖像掃描 （Image Scanning system） | 快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
自動功能 （Automatic Function） | 自動啟動(Auto start)，自動聚焦(Auto focus)，自動亮度對比度調節(Auto Brightness/Contrast) |
圖像存儲格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數據顯示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探測器類型(Detector type)，電壓(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， Date and time，Text marker，比例尺(scale bar)等 |
真空系統（Vacuum system） | 全自動型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode) （旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間(pump down time)：2分鐘以內 (less than 2 minutes) |
操控系統(Control unit system) | 鼠標和鍵盤(Mouse ,Keyboard) |
| PC：臺式電腦（Desk Top） OS : Microsoft Windows 7 CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 |
軟件（Software function） | 圖像文件打開，編輯，存儲功能(Image file open, edit, Save function) 長度，面積，角度等測量功能(Length, area, angle measuring)
設置數值初始化(parameter initialization)，圖像拍攝模式轉換(Image capture mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模式等 |
體積（ Volume） | 設備主機（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set
外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set |
重量 （Weight） | 105kg |
設備環境 （Equipment environment） | 溫度(Temperature)：15℃~30℃
濕度(Humidity)：70% or less 電源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
滬公網安備31011502016460號
