SGC-2 自動橢圓偏振測厚儀
儀器介紹：
橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應的測試方法和設備也不斷地被改進和創新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應用在光學、材料、生物、醫學等各個領域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數是橢圓偏振法*基本、*重要的應用 。
儀器特點：
●儀器采用消光式橢圓偏振方式測量
●精度高、自動控制
●光源采用氦氖激光，波長精度高
●儀器采用USB接口與電腦連接
●配套軟件對采樣數據具有多種處理方式，適用于不同需要
●軟件有完整版及學生版兩種版本，適于教學要求
技術指標：
編號 | 名稱 | 參數 |
1 | 測量范圍 | 1nm～4000nm |
2 | 測量*小值 | ≤1nm |
3 | 鍍膜折射率范圍 | 1.300～10.000 |
4 | 入射角 | 40°～90° 誤差≤0.05° |
5 | 偏振器方位角讀數范圍 | 0°～180° |
6 | 偏振器步進角 | 0.0375°/步 |
7 | 測量精度 | ±0.5nm（10nm，±0.5nm） |
8 | 光學中心高度 | 75mm |
9 | 工作臺直徑 | φ10mm～φ120mm |
10 | 厚度 | ≤10mm |
滬公網安備31011502016460號
