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可同時測量薄膜反射率、折射率、透射率的光學薄膜測厚儀

價  格:詢價

產(chǎn)  地:更新時間:2021-01-18 17:54

品  牌:型  號:SRT

狀  態(tài):正常點擊量:1241

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上海非利加實業(yè)有限公司

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產(chǎn)品特征:
· 易于安裝
· 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件,很容易操作
· 的光學設計,以確保能發(fā)揮出*佳的系統(tǒng)性能
· 基于陣列設計的探測器系統(tǒng),以確保快速測量
· 獨特的光源設計,有著較好的光源強度穩(wěn)定性
· *多可測量5層的薄膜厚度和折射率
· 在毫秒的時間內(nèi),可以獲得反射率、透射率和吸收光譜等***些參數(shù)
· 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量
· 系統(tǒng)配備大量的光學常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫
· 對于每個被測薄膜樣品,用戶可以利用的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進行色散或者復合模型(EMA)測量分析;
· 可升***至MSP(顯微分光光度計)系統(tǒng),SRM成像系統(tǒng),多通道分析系統(tǒng),大點測量。
· 通過模式和特性結(jié)構(gòu)直接測量。
· 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測量,例如通過曲線表面進行縱長測量。
· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。
 
 
 
系統(tǒng)配置
型號:SRT100
檢測器:雙通道CCD陣列的每個像素2048
光源:氘燈和高功率鹵素燈
光傳輸:光纖
載物臺:黑色鋁合金樣品測量平臺輕松調(diào)整高度,100mmx100mm尺寸
通訊:USB
測量類型:薄膜厚度,反射光譜,透射光譜,折射率
軟件:TFProbe 2.3
電腦需要:常規(guī)配置
電源:110 - 240伏交流電/ 50 - 60Hz的,1.5A
保修:1年
產(chǎn)品規(guī)格
波長范圍:250nm到1100 nm
光斑尺寸:500μm至5mm
樣品尺寸:100mmx100mm
基板尺寸:*多可至50毫米厚
測量厚度范圍*:5nm-50μm
測量時間:*快2毫秒
精確度:優(yōu)于0.5%(通過使用相同的光學常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
重復性誤差*:小于1A
產(chǎn)品應用:
半導體制造(PR,Oxide, Nitride..)
液晶顯示(ITO,PR,Cell gap... ..)
醫(yī)學,生物薄膜及材料領(lǐng)域等
油墨,礦物學,顏料,調(diào)色劑等
醫(yī)藥,中間設備
光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
半導體化合物   非晶體,納米材料和結(jié)晶硅
在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
                 

產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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