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ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-18 19:08

品  牌:型  號(hào):RTM

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:1779

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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 ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀RTM


 

SENTECH ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀是***種新型的光學(xué)診斷工具,是心靈超高分辨率的單***ALD循環(huán)。在不破壞真空的條件下分析薄膜特性(生長(zhǎng)速率,厚度,折射率),在短時(shí)間內(nèi)開發(fā)新工藝、實(shí)時(shí)研究ALD循環(huán)中的反應(yīng)機(jī)理是SENTECH ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀的主要應(yīng)用。

 

 

ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀的優(yōu)勢(shì)

 

工藝開發(fā)與優(yōu)化

使用單***ALD循環(huán)可快速和簡(jiǎn)易地開發(fā)和優(yōu)化ALD工藝。ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀顯示了高達(dá)40ms分辨率的吸附和解吸過程。顯著節(jié)省了研發(fā)時(shí)間,襯底,前驅(qū)體和氣體。

 

節(jié)省前驅(qū)體

通過ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀,ALD工藝變得更加有效。節(jié)省了前驅(qū)體和工藝時(shí)間。

 

前驅(qū)體控制

當(dāng)前驅(qū)體供應(yīng)快要用盡時(shí),ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀會(huì)立即檢測(cè)到的每個(gè)周期的增長(zhǎng)變化。

 

SENTECH ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀是***種新型的光學(xué)診斷工具,是心靈超高分辨率的單***ALD循環(huán)。在不破壞真空的條件下分析薄膜特性(生長(zhǎng)速率,厚度,折射率),在短時(shí)間內(nèi)開發(fā)新工藝、實(shí)時(shí)研究ALD循環(huán)中的反應(yīng)機(jī)理是SENTECH ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀的主要應(yīng)用。

 

創(chuàng)新的ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀是特別為快速和有效的工藝開發(fā)而設(shè)計(jì),可優(yōu)化SENTECH原子層沉積設(shè)備。該軟件使SENTECH ALD系統(tǒng)和ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀易于操作。ALD實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀完全集成到SENTECH ALD系統(tǒng)軟件中,確保操作簡(jiǎn)單。


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