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雙頻激光干涉儀ZLM700

價(jià)  格：詢價(jià)

產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-01-19 09:17

品  牌：型  號(hào)：

狀  態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1230

400-006-7520
聯(lián)系我時(shí)，請說明是在上海非利加實(shí)業(yè)有限公司上看到的，謝謝！

上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人： 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話： 400-006-7520

傳   真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

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產(chǎn)品功能
     定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測量，還能夠測量數(shù)控機(jī)床回轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量，廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。

性能優(yōu)勢

l          真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩***雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德***耶拿爾公司是其中的******。
l          全部部件皆在德***生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方******進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上******將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l          測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購；若后期有其他功能的需求，補(bǔ)充采購功能對(duì)應(yīng)的部件即可。
l          激光器壽命更長，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，***小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。
l          無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。
l          信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。
l          對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，*多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。

工作原理
型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測量，不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差，信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。
采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測量信號(hào)的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM700
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：
***小時(shí)2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)輸出功率：
1mW （激光等***2）
每束光可測量的軸數(shù)：
1
線性測量距離：
40m，可擴(kuò)展為120m
角度測量范圍：
± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：
20m行程
直線度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉儀
速度：
4m/s，可選16m/s
80rad/s，角速度
加速：
無限制
采樣頻率：
內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：
10分鐘
精度/非線性：
±0.3nm （角隅反射鏡）
±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
距離測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時(shí)
（20°±0.5°） 真空中時(shí)
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：
0.6nm （角隅反射鏡）
0.3nm （平面反射鏡）
0.1nm 可選
線性度測量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK時(shí)
（20°±0.5°） 真空中時(shí)
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：
±0.5ppm實(shí)測值
角度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度測量精度：
±0.1ppm實(shí)測值
平面度測量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度測量精度：
±0.2%實(shí)測值
±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直線度測量精度：
±0.5%實(shí)測值，2m行程
± 2.5%實(shí)測值，10m行程
垂直度測量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：
±0.5%實(shí)測值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%實(shí)測值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：
積分信號(hào)
32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間）
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝

 

應(yīng)用光路圖


以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度


以上是平面度測量示意圖


以上是垂直度測量示意圖

 
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖


以上是對(duì)角測量示意圖

 
以上是俯仰角測量示意圖


以上是偏擺角測量示意圖


以上是滾動(dòng)角測量示意圖


以上是回轉(zhuǎn)臺(tái)定位精度測量示意圖

資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf
激光干涉儀說明書（中文）.pdf


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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