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性能

前級(jí)泵內(nèi)置式

前級(jí)泵外置式及小車

前級(jí)泵        油式機(jī)械泵

DS-422 m3/hr (34 l/m)

DS-30214 m3/hr (232 l/m)

渦卷式干泵

N/A

TS-62030 m3/hr (500 l/m)

最小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下

5×10-12 atm cc/sec；

 5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium

測(cè)試口最高耐壓

16 mbar，12 Torr，1600 Pa

測(cè)試口處對(duì)氦氣抽速

1.8 l/s

校準(zhǔn)程序

自動(dòng)或手動(dòng)（內(nèi)置或外置）

氦本底清零

按鍵清零，并具有零點(diǎn)追蹤功能

操作界面

高清晰彩顯，TFT觸摸屏

語(yǔ)言選擇

中文/英語(yǔ)/法語(yǔ)/德語(yǔ)/日語(yǔ)/韓語(yǔ)/西班牙語(yǔ)

循環(huán)檢測(cè)

可編程粗抽時(shí)間/測(cè)試時(shí)間，設(shè)置報(bào)廢點(diǎn)

響應(yīng)時(shí)間

＜1.0秒

設(shè)定點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)；5個(gè)設(shè)定點(diǎn)；常開或常閉；3個(gè)漏率點(diǎn)；1個(gè)壓強(qiáng)點(diǎn)；1個(gè)聲訊點(diǎn)

通訊協(xié)議

RS-232 通訊借口，9600波特率（9芯竄口）

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

UL，CE，CSA