麻豆免费视频网站,亚洲欧美成人一区二区在线,久草热久草在线视频

現(xiàn)在位置：首頁>光學(xué)儀器>表光學(xué)應(yīng)> 光學(xué)平臺

商品編號：89238

美國Trion 具有預(yù)真空室的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

價格：詢價

產(chǎn) 地：更新時間：2021-01-19 15:36

品牌：型號：Minilock-Phantom III

狀態(tài)：正常點擊量：1089

在線留言

400-006-7520

聯(lián)系我時，請說明是在上海非利加實業(yè)有限公司上看到的，謝謝！

上海非利加實業(yè)有限公司

聯(lián) 系人： 上海非利加實業(yè)有限公司

電話： 400-006-7520

傳真： 400-006-7520

配送方式： 上海自提或三方快遞

聯(lián)系我時請說在上海非利加實業(yè)有限公司上看到的,謝謝！

美***Trion Technology
反應(yīng)式離子刻蝕系統(tǒng)及沉積系統(tǒng)

Trion始于***九八九年的等離子刻蝕與沉積系統(tǒng)制造商，Trion為化合物半導(dǎo)體、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))、光電器件以及其他半導(dǎo)體市場提供多種設(shè)備。我們的產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積*小、成本低而著稱，且設(shè)備及工藝的可靠性和穩(wěn)定性久經(jīng)考驗。從整套的批量生產(chǎn)用設(shè)備，到簡單的實驗室研發(fā)用系統(tǒng)，盡在Trion。

Trion提供升***及回收方案給現(xiàn)有客戶。

小批量生產(chǎn)用設(shè)備:

沉積 (PECVD)

Minilock-Phantom III 具有預(yù)真空室的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)。適用于單個基片或帶承片盤的基片(3” - 300mm尺寸)，為實驗室和試制線生產(chǎn)環(huán)境提供的刻蝕能力。它也具有多尺寸批量處理(4x3”; 3x4”; 7x2”)。系統(tǒng)有多達(dá)七種工藝氣體可以用于刻蝕各種薄膜，如氧化硅、氮化硅、多晶硅、鋁、砷化鎵、鉻、銅、磷化銦和鈦。該反應(yīng)室還可以用于去除光刻膠和有機(jī)材料。可選配靜電吸盤(E-chuck)，以便更有效地在刻蝕工藝中讓基片保持冷卻。該E-chuck使用氦壓力控制器，及在基片背面保持***個氦冷卻層，從而達(dá)到控制基片溫度的作用。

該設(shè)備可選配***個電感耦合等離子(ICP)源，其使得用戶可以創(chuàng)建高密度等離子，從而提高刻蝕速率和各向異性等刻蝕性能。

成人无码高潮av在线观看_欧洲极品少妇_夂久亚州精华国产精华华液_在线观看亚洲AV每日更新无码_亚洲国产精品无码久久一线_亚洲精品区午夜亚洲精品区

美國Trion 具有預(yù)真空室的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

上海非利加實業(yè)有限公司

產(chǎn)品特點

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品介紹

相關(guān)產(chǎn)品分類