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產 地：更新時間：2021-05-13 13:56
品 牌：其他型 號：CS-4
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IGBT測試高壓大電流探針臺，技術指標如下：
設備名稱
技術指標
1、探針臺臺體
CL-6
? 6" 卡盤，采用中心吸附孔和3圈吸附環固定樣品，分別由3個開關獨立控制
? 卡盤X-Y的移動范圍 6＇＇X6＇＇，移動精度：10微米
? 卡盤可以 360 度旋轉，細調精度不大于 0.1 度，帶有鎖定旋鈕
? Chuck 漏電低于 100fA ， 平坦度誤差小于 5um 。
? Chuck 鍍金，用于做背電極,可以進行雙面測試
? 卡盤臺可以上下快速升降4mm，便于樣品快速分離探針
? 顯微鏡環繞立柱旋轉式設計，便于快速移動顯微鏡， 顯微鏡移動范圍覆蓋樣品臺
? 可調節顯微鏡在 X-Y 平面4" x 4" 范圍內移動,精度1微米（此項行程升***為4寸，系統不包含顯微鏡）
2、體視顯微鏡 CB-M
? 變焦： 0.8 倍 ~5 倍 ， 總放大倍率： 16 倍 ~200 倍
? 雙目觀察傾斜 45 度，雙瞳距調節范圍 52-75mm
? 顯微鏡在 X ， Y ， Z 軸方向的調節范圍： > 50.8mm ，調節精度小于 10 微米
? 工作距離:115mm 變倍比：1:6.7
? 帶 CCD 接口和 0.4X C-mount
? *小分辨率2um
3、高壓大電流探針座
GVDI-40
? 磁力開關底座
? 線性，無后座力移動
? 探頭接口和線纜45度連接，無需L型轉接頭
? X-Y-Z 方向的移動行程分別為 13mm
? 精度2微米
? 調節架可進行30度以內的角度調節
? 高壓大電流測試適用
4、SHV高壓夾具
? 漏電精度低于1pA
? 大電流10A,高壓2kv（不能同時達到）
? 2.1m線纜（銅管TubulerType）接頭和客戶設備配
? 50Ω阻抗，測試頻率直流-100Mhz
（與浙江五強晶體管特性圖示儀配套使用）
5、SHV高壓大電流探針
? 電流范圍0-10A
? 電壓范圍0-2kV
? 2kV時，電流需控制在10mA以內
? 電流10A時，電壓不能超過5v
? 漏電精度100fA
6、真空泵
VP0125
? 可24小時連續工作
? 靜音無油真空泵 7 升/分鐘
? 體積小巧
（可選項）
7、屏蔽箱
? 有效屏蔽信號干擾和漏電，提升測試精度
? 防止意外觸電
8、固定支座
? 880*580*700mm，阻尼抗震
? 承重 300kg左右
9、面包板
? 1200*600*50mm
? 蜂窩型板
? 孔距25mm，孔徑M6
? 表面粗糙度:<2um
中型探針定位器探針座
IGBT高壓大電流測試探針測試臺
探針臺
精密氣浮防震桌
高低溫真空探針臺，高磁場環境測試探針臺
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