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水平旋轉(zhuǎn)

可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程

4英寸*4英寸

X-Y移動(dòng)精度

10微米

樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)

可升降10mm

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)

U型針座平臺(tái)，*多可放置6個(gè)探針座

背電極測(cè)試

樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸

400mm長(zhǎng)*400mm寬*500mm高

重量

約25千克

放大倍率

16X-200X

移動(dòng)行程

水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm

光源

外置LED無(wú)極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD

200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

移動(dòng)精度

10um/2um/0.7um/0.5um

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/接線端子

針尖直徑

0.2um/1um/2um/5um/10um/20um

針尖材質(zhì)

鎢鋼/鈹銅

顯示器

轉(zhuǎn)接頭

射頻測(cè)試配件

屏蔽箱

光學(xué)平臺(tái)

鍍金卡盤(pán)

光電測(cè)試配件