BASIS系列OEM氣體質量流量控制器
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-03-29 17:21
品 牌：其他型 號：
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產品參數
性能
可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）
可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數+0.5%滿量程）
可重復性：0.5%滿量程
標準控制器響應時間常數：100ms（可利用PID調節功能調節）
預熱時間：70ms，達到完整精度
工作條件
兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）
工作溫度：0°C至+50°C
大內部壓力（靜態）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
滬公網安備31011502016460號
